1、不产生 1、生产自动化及人员不聚集．动作放轻。 2、 洁净室内装材料的适当选用。 3、无尘衣及洁净室专用器具的使用及管理。 4、制程设备的发尘抑制。
2、不堆积 1、有计画有基准的实施清扫的工作。 2、不造成不易清扫的死角，机器外围要易于清除。 3、风管及配置要避免露于室内。
3、不带入 1、机器．材料．工具．须经清洁方可进入洁净室。 2、 非必要之物品禁止携入 3、作业人员须依规定更衣经浴尘室再进入洁净室。 4、建物要紧密，HPEA及框架没有泄漏。 5、室内保持正压。
4、排除 1、施工后须马上清洁。 2、气流的形成要设计得当，防止尘埃附着在产品上。 3、污染源须有排气设备直接吸除。 4、换气次数须足够符合规定。